但这也只是比较晚,而并非彻底解决了问题。”
说到这里,周瑜的话语顿了顿。
“但稳态微聚束技术避免了这个问题。稳态微聚束光束实现了一千瓦的更高输出功率,加上它带宽较窄,需要更少的反射镜,因此可以产生更高的终端功率。
我们现在正设计一个功率高于一千瓦稳态微聚束极紫外光源,只要等咱们这边的电子对撞试验场地和设备建成,还有一些关键技术成熟,或许设计的蓝图,将会很快成为现实中的设备。”
听到周瑜的“画饼”,邹王振教授和他身旁的三位博士生都有些心向往之。
而且除了画饼之外,周瑜还带着邹王振教授一行人参观了一些不算技术核心的数据和模型推导成果,展示了新科半导体光学团队为将稳态微聚束技术进行落地实践和技术成果未来转化,所做的努力。
当然,除此之外,周瑜也对邹王振教授一行人直言:“咱们大夏联邦的光刻机自主研发之路,还有很长的路要走。
我们和其他高校、试验机构一起披荆斩棘,也只是在勉强开垦一条可供行走的道路罢了。”
周瑜一直都认为,基于稳态微聚束的极紫外光源技术,也只是能够解决自主研发光刻机中最核心的光源难题,除此之外,半导体产业的革新和进化,还需要大夏联邦半导体产业的上下游产业链相互配合升级,才能获得真正成功。
听完周瑜的讲述之后,邹王振教授也是感慨万千。
“光刻机这个设备,一直都是工业明珠中最闪亮的一颗。
它背后的一整套纳米工业产业链,根本不是一所高校、一个实验室、一家企业能够完成的。
阿斯麦公司和我的团队也有过沟通交流,他们最顶级的一台光刻机,其内部就有超过10万个高精尖的零部件,它们来自蓝星全球5000多家供应商,并且在组装的时候,还要保证整台机器的所有零件都要达到纳米级精度。
贵公司的微聚束极紫外光源粒子加速器尚未建成,其他零部件的生产工艺也远远没有达标,还有咱们大夏联邦的高精尖机床,现在也发展迟缓。
的确是任重而道远啊。”
听到这个感慨,周瑜也点了点头。
“曾子曾经说过:‘士不可以不弘毅,任重而道远。仁以为己任,不亦重乎?死而后已,不亦远乎?’
我把全部精力投入到半导体行业,就是为了咱们华夏一族可以从芯开始,完成高科技产业的真正自主发展。
以前在上沪辅旦大学进修国际关系学的时候,我就看了太多的世界历史上的强国,因革新自主而强大,因无法自控,无法自主而衰退。
除了光源之外,我们还需要突破更复杂的光照反射镜光学系统,并且联合大夏联邦的所有有志之士,和高校、研究机构、其他合作企业们一起,集齐光刻机所需的每一个零部件!
我们要真正实现,光刻机自主!半导体产业自主!”