第184章 设备联合调试(下)
乔瑞达,林孟松,王成业三人跟在第一批晶圆的身后,缓缓经过一道又一道工序。林孟松和王成业二人的表情皆是非常的严肃,眼睛跟着生产线上的晶圆不断移动。
“王院士,林博士,放轻松一些,该做的工作咱们都做过了,该调整的参数都调整到位了,这次生产测试一定会成功的。”
乔瑞达说这话可不是纯粹安慰二人,其实昨天晚上,次元空间中的芯片生产线就已经测试成功,生产出了第一枚合格的28nm蓝牙芯片。尽管产品合格率低的可怜,只有个位数,但是整条生产线已经跑通了不是吗。现实世界中的所有设备,参数设置和次元空间中的完全一样,此次测试生产,大概率会有合格的芯片诞生。
林孟松摇摇头,说道:“话虽如此说,我这心里还是没有底。这套芯片生产设备,实在是太先进了,几乎集合了全球所有最顶级的芯片生产设备,我在台积电和四星,都没见过如此齐全的顶级生产线。我以往总结出来的那些经验,只能作为参考,具体能不能生产出合格的芯片,我是一点把握都没有。”
王成业吐出一口浊气,说道:“林老弟至少以前在四星接触过duv光刻机,我以前连duv的影子都没见过,你都没有把握,我就更不敢保证什么了。如果这次测试生产还不成,那咱们就继续摸索调试下去,早晚有成功的一天。”
生产芯片的无尘车间,对洁净度的要求很高。乔瑞达诸人穿戴的无尘服,是全封闭式无尘服,彼此对话非常的费劲,瓮声瓮气的。而且这种无尘服穿脱非常的费劲,如果有人内急,上一次厕所就需要消耗半个小时以上的时间,非常的不方便。为了尽量减少上厕所的次数,众人需要严格控制每天的饮水摄入,偶尔还需要忍者即将爆炸的膀胱,继续工作,难受的一批。
十几个小时过后,天色已经彻底黑了下了,生产线上的操作人员已经换了两波,王成业、林孟松、和乔瑞达三人却还在车间内坚持着。除了出去吃饭的时间,三人在无尘车间内,至少已经连续工作了至少十个小时,即使乔瑞达这个年轻人都有些吃不消,更不消说王院士这个老年人了,那真是靠着一股信念在支撑了。
又是半个小时后,乔瑞达三人亲眼看着第一批八寸晶圆走下生产线。林孟松激动的走上前去,从工作人员手里接过一片晶圆,拿在手里,仔细的端详着。完成所有光刻、刻蚀、掺杂、气象沉淀等工序的硅晶圆,局部呈现出五彩斑斓的色泽,看起来非常的漂亮。
“光凭肉眼也看不出什么,咱们拿上十片晶圆,去隔壁车间的测试线上,走一遍测试过程,就知道结果了。”王院士走上前,拍了拍林孟松的肩膀,如是说。
“我明白,咱们这就打包晶圆,拿过去测试。”说罢,林孟松就开始行动,他取来一个专门存放硅晶圆的塑料箱子,然后用专用夹具夹起十片硅晶圆,放入箱子,拎着就往外走。乔瑞达和王院士,紧跟在后面,一起朝车间大门的方向走去。