第39章 知识
郑承瀚一脸惊诧，赶忙从自己的衬衣口袋里面掏出他的笔记本，翻出以前导师教过的某些资料，一边对照着面前的文件夹资料。
“通过高效过滤、低温、恒温控制、高压等环境控制技术，将制造设备和产品放置在一个极低污染的空气环境中的无尘车间。
防止空气中的微小颗粒、气体、湿度等污染物和微生物污染，以确保半导体材料、工艺和产品的质量。
空气的湿度保持在30-60%rh之间，温度保持在18-25度之间，防静电，防尘。
大型鼓风机、大型空调设备、限用去离子水、高纯度氮气吹风机、智能净化检测系统、激光设备测量监控环境微粒数量和净化等级，并且能根据不同需要增加或减少控制终端，实现7*24实时远程自动监测，通过加密网络接口，将数据送给pC终端，显示当前监测环境的洁净状况。
这个无尘车间的设置比哈工罗教授的方案还要细致，还有这些设备的自研方向以及购买渠道。”