周瑜刚好在和一个实验室的团队讨论技术。
“基于稳态微聚束原理，能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射光，波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段，其中就包括了极深紫外线光刻机所需要的13.5纳米波长的euv光。
其实这个技术，咱们也不是唯一在搞研究的，青木大学有一位博士就有在研究这个技术，只不过他们并没有专门向半导体光刻胶的光源方向上发展，而是在做理论研究和多方向的探索。
只不过稳态微聚束光源的潜在应用之一就是作为未来euv光刻机的光源，因为咱们是专研，所以咱们目前的研究进度或许要比他们更前进一点。”
对于这点，周瑜倒是并没有再开玩笑。
因为根据前世的记忆，他知道这个教授的团队与德国的合作团队，大概要等到大夏阴历2020年之后，才会在《自然》杂志上发表了《稳态微聚束原理的实验演示》，报告稳态微聚束的首个原理验证实验。
八年之后才会发表，现在对方可能连大型实验项目的规划都还没有出来。
怎么和他这个开卷写答案的进度比较？
而后，就得知了这位邹王振教授已经到了研究大楼的信息。
于是，在邹王振教授们“历经了千辛万苦”之后，这才是见到了正主。
周瑜与李贤审两人，带着几位半导体工程师，在研究楼与其见面。
在相互介绍之后，邹王振教授握着周瑜的右手，主动问道。“周董事长，贵公司对稳态微聚束技术怎么看？”
面对这个问题，虽然周瑜也可以让最新招聘到的光学教授和其他工程师们来回答，但是在看到面前老人眼中的光亮时，他选择了自己回应。
看了看四周，没有额外人员，他微笑着对这位教授回道：“相比于目前阿斯麦公司的光刻机所使用的极紫外光技术，咱们的光学团队都一致认为稳态微聚束是一种更理想的光源，原因在于后者具有更高的平均功率、更高的芯片产量，以及更低的单位成本。
利用激光等离子体产生极紫外光源，将强激光脉冲投射到液态锡滴上。
激光会粉碎液态锡滴，在撞击过程中产生极紫外脉冲光，并在经过复杂的滤波和聚焦后，产生功率约250瓦的极紫外光源。
而在到达芯片之前，这极紫外光束要经过11个镜子的反射，每个镜子都会损失30%的能量，因此光束到达晶圆时的功率小于五瓦。
虽然现在看这个光源制造十纳米制程的芯片，可以说是手到擒来，只要技术规格和设备精度达到了，很快就能够制造出来。
但是这种光源在制造五纳米以下的3纳米、4纳米的芯片时，就会成为一个老大难的问题，因为能量不够集中，不够精密。
当然，现在台积电和高丽韩星电子的半导体芯片制程都已经变成了他们两家公司自己设定的规格，而非真正意义上的物理规格制程，所以我估计这一天会来得比较晚，至少十年之内不会有光源问题。