除了工厂之外,半导体部门与天玑手机项目部门、平板电脑研发部门的各研究员,也在疯狂的加班加点。
而且比起工厂上班需要下-体力的工人们不同,这些研究员基本就是吃住都在部门园区,平常没有事情,全都都是大门不出二门不迈。
“按下游应用划分,我们要为夏芯国际开发半导体光刻胶、为晶东方开发LCd光刻胶、pCB光刻胶。紫外宽谱、g线、i线、krf、Arf、euv这六个主要种类都需要有足够的涉猎。”
“都说了这些东西都要应用在微细图形加工中,谁说的能够不注意个人卫生啊?越是精密的加工技术,就越需要注意我们个人卫生!”
“看好这个材料表,虽然不是euv紫极外光的光刻胶,但你们看清楚这个配方,萘基、二甲基锍三氟甲磺酸盐、二羟基、二甲基锍三氟甲磺酸盐、二苯基锍三氟甲磺酸盐……
首先我们先尝试将phs树脂、光致产酸剂、交联剂、流平剂和溶剂混合,搅拌溶解后,经孔径为0.45\/0.22um的微孔滤膜过滤器过滤,得到光刻胶。
纯度肯定不行,现在又不是让我们将纯度最高的最好最优秀
的光刻胶做出来!
现在我们需要的是能够做,能够填饱肚子!连uv光刻胶都造不出来,还想造euv紫极外光的光刻胶?做梦!
看到没有,前烘的温度为80-110c,前烘的时间大致为40-80s;所述曝光的能量为100-400msec;所述后烘的温度为80-110c,后烘的时间为40-80s;所述显影的显影液为质量分数2.38%的四甲基氢氧化铵水溶液,显影的时间为60s。
与夏芯国际跟我们提供的光刻胶对比,这个技术配比的光刻胶确实有一部分增益效果,交联剂的添加量为0.55-0.75%,驻波效应得到改善,特别是交联剂的添加量为0.5%时驻波效应改善最明显,效果最好。
不过这个添加剂的量必须要严格光控,每一毫克都不能够出问题!
既要保证得到图形的成膜强度,又要减小交联程度,更要减小显影液浸泡光刻胶侧面由过曝光和欠曝光带来的差异。
这个附图上面的批注和说明有问题,是谁先写上去的?”
杨刚省在周瑜面前,是一个温文尔雅的有识之士,技术中年人。
但是在进入研发状态,带团队进行光刻胶研发的时候,就像是一个实验室暴君,每天不是在喷人,就是在教育人的路上,甚至还有年龄比较小的研究人员被他给训哭。
“哭?男子汉大丈夫,哭起来像个娘们!你手抖得都不会加材料了!浪费了材料,你去赔损失吗?!
知道错了,就去改!”
“谁洗的玻璃管?!你是硕士没毕业吗?连个玻璃管都刷洗不干净,是想我带你回去读书吗?丢我的脸!”